한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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- Pages.267-268
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- 2006
$SnO_2$ 마이크로 가스센서의 CO가스 감지특성에 관한 연구
A Study on CO Gas Sensing Behaviors of $SnO_2$ Micro Sensor
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Kim, Chang-Kyo
(SoonChunHyang Univ.) ;
- Lee, Joo-Hun (SoonChunHyang Univ.) ;
- Lee, Byoung-Wook (SoonChunHyang Univ.) ;
- Lee, Keun-Woo (SoonChunHyang Univ.) ;
- Lee, Jong-Ha (SoonChunHyang Univ.) ;
- Lee, Tae-Sung (SoonChunHyang Univ.)
- 발행 : 2006.11.09
초록
전력소모를 감소시키기 위해 MEMS 기술을 이용하여 마이크로 히터를 제작하고 그 위에 감지물질을 도포하여 마이크로 센서를 제작하였다. 마이크로 가스센서는