한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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- Pages.99-100
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- 2006
실리콘에 $BF_2$ 로 이온주입후에 Boron 이온의 일차원 및 이차원적인 분포해석
Analysis of one- and two-dimensional boron distribution in implanted $BF_2$ silicon
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정원채
(경기대학교 전자공학과)
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Jung, Won-Chae
(Department of Electronic Engineering, Kyonggi University)
- 발행 : 2010.04.01
초록