Analysis of Electric Pulse Induced High Speed Phase Changing Process of GST by Using Time Resolved Ellisometry

TRE를 이용한 고속 전기적 펄스에 의한 GST의 상변화 분석

  • 김연화 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상준 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 안성혁 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김기준 (삼성종합기술연구원) ;
  • 노진서 (삼성종합기술연구원) ;
  • 서동석 (삼성종합기술연구원) ;
  • 신웅철 (삼성종합기술연구원) ;
  • 이은혜 (삼성종합기술연구원) ;
  • 강윤선 (삼성종합기술연구원) ;
  • 강윤호 (삼성종합기술연구원) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과)
  • Published : 2006.02.09