RF 마그네트론 스퍼터링법과 전자빔 증착법에 의해 제작된 $TiO_2$ 박막의 광학적.구조적 특성

Optical and Structural Properties of $TiO_2$ Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering and Electron-Beam Evaporation

  • 발행 : 2006.02.09