마이크로소자 응용을 위한 금속미세구조의 레이저가공

Laser processing of micro-metallic-structures for the application to microdevices

  • 오광환 (레이저공학 실험실, 광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 이민규 (레이저공학 실험실, 광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (레이저공학 실험실, 광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2006.02.09