Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2006.07a
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- Pages.459-460
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- 2006
Relationship between BOE etch rate and refractive index of SiNx thin films deposited by PECVD
PECVD로 증착한 SiNx 박막의 BOE 식각률과 굴절률과의 관계
- Kim, Tae-Eon ;
- Kim, Seon-Hun ;
- Kim, Hyo-Jin ;
- Kim, Sang-Taek ;
- Gi, Hyeon-Cheol ;
- Yang, Hak ;
- Kim, Jin-Hyeok ;
- Kim, Hoe-Jong
- 김태언 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 김선훈 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 김효진 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 김상택 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 기현철 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 양학 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 김진혁 (전남대학교 신소재공학부) ;
- 김회종 (한국광기술원 광소자팀)
- Published : 2006.07.01
Abstract
Keywords