Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Proximity effect correction for photonic crystal devices using electron beam density map

전자빔 밀도 지도를 이용한 광결정 제작시 발생하는 근접 효과 보정

  • 강주형 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 김선경 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 김세헌 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 이용희 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 2006.07.01
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