Chemically assisted ion-beam etching of GaN for blue photonic quantum ring laser

청색 PQR 레이저 제작을 위한 GaN CAIBE 에칭

  • 윤준호 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 김영천 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 이용준 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 김승식 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 권오대 (포항공과대학교 전자전기공학과)
  • Published : 2006.07.01