한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.367-368
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- 2006
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- 2005-8446(pISSN)
호모다인 방식의 소형 간섭계 모듈에서의 비선형성 에러 분석
Analysis of Nonlinearity Error in Compact Homodyne Interferometer Module
- Ahn, Jeong-Ho (Dept. of Mech. Eng., KAIST) ;
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Kim, Jong-Ahn
(KRISS)
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Kwak, Yoon-Keun
(Dept. of Mech. Eng.)
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Kim, Soo-Hyun
(Dept. of Mech. Eng.)
- 발행 : 2006.10.18