Micro Out-of-plane ESPI System for Tensile Properties Measurement of Nano Thin Film

나노 박막의 인장 물성 측정을 위한 마이크로 면외 ESPI 시스템

  • 김동일 (전남대학교 기계공학과) ;
  • 허용학 (한국표준과학연구원 안전그룹) ;
  • 김동진 (한국표준과학연구원 안전그룹) ;
  • 기창두 (전남대학교 기계시스템공학부)
  • Published : 2006.10.18