한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

진공용 공기베어링 배기시스템의 최적설계

Optimal Design of an Exhaust System of a Vacuum-Compatible Air Bearing

  • 김경호 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 이후상 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Khim, G. (Intelligent Machine Systems Center, KIMM) ;
  • Park, C.H. (Intelligent Machine Systems Center, KIMM) ;
  • Lee, H. (Intelligent Machine Systems Center, KIMM) ;
  • Kim, S.W. (Dep. of Mech. Eng. KAIST)
  • 발행 : 2006.10.18
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드