Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Development of White Light Scanning Interferometry(WSI) for measurement of height pole on the LCD glass

LCD glass 위의 Pole 높이 측정을 위한 백색광 간섭계 개발

  • Lee, D.K. (Dept. of Control & Measurement. Eng., SunMoon Univ.) ;
  • Cho, S.Y. (Dept. of Control & Measurement. Eng., SunMoon Univ.) ;
  • Ko, K.W. (Dept. of Control & Measurement. Eng., SunMoon Univ.)
  • 이두길 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 조수용 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 고국원 (선문대학교 제어계측공학과)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

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