대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
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$BaSrTiO_3$를 이용한 embedded capacitor의 제작 및 특성 평가

Evaluation on fabrication and characterization of embedded capacitor employing $BaSrTiO_3$

  • 발행 : 2006.10.27
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초록

최근 고주파 유전체 소재로 많이 연구가 되고 있는 $BaSrTiO_3$ 소재와 polymer계열을 이용한 composite복합체를 이용하여 embedded capacitor를 제작하였으며, 후막을 제작하기 위한 방법으로는 두께의 신뢰성이 비교적 높은 screen printing기법을 사용하여 제작하였다. 제작된 소자의 온도별, 주파수별 특성을 연구하여 그 응용 가능성을 알아보았다.

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