Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2006.05a
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Pages.23.1-23.1
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2006

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Effects of hydrogen on crystallinity of Si thin films by RF magnetron sputtering

RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과

서지민 (연세대학교 금속공학과) ;
정민창 (연세대학교 금속공학과) ;
명재민 (연세대학교 금속공학과)

Published : 2006.05.19

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Abstract

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