Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2006.05a
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- Pages.18.2-18.2
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- 2006
전처리에 따른 $HfO_2$ MOS-Cap의 전기적 특성 평가
- Yang, Dae-Jun ;
- Kim, Ju-Yeon ;
- Son, Yeong-Jun ;
- Kim, Hyeon-Cheol ;
- Kim, Yeong-Bae (Department of physics, North Carolina State University) ;
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Choi, Deok-Gyun
- 양대준 (한양대학교 세라믹공학과 박막전자재료연구실) ;
- 김주연 (한양대학교 정보디스플레이공학과 박막전자재료연구실) ;
- 손영준 (한양대학교 세라믹공학과 박막전자재료연구실) ;
- 김현철 (한양대학교 세라믹공학과 박막전자재료연구실) ;
- 김영배 ;
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최덕균
(한양대학교 신소재공학부 세라믹공학과)
- Published : 2006.05.19