한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- Pages.254-254
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- 2005
CeO$_2$ 완충층을 이용한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 식각 정지 특성
Etch Stop Characteristics of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Film by Using $CeO_2$ Buffer Layer
- 발행 : 2005.05.26