Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.240-240
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- 2005
Effects of sputtering oxygen partial pressures and power on structural and optical properties ZnO films on $SiO_2/Si$ (001) substrates
ZnO 박막의 구조 및 광 특성에 미치는 스퍼터링 산소분압 및 플라즈마 세기효과
Abstract
Keywords