한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구

Optimization of mask fabrication process for EUV lithography

  • 김우삼 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 김충용 (한양대학교 디스플레이공학과) ;
  • 김태근 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.05.26
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