Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Properties of high-k $HfO_2$ films grown by MOMBE

MOMBE로 성장한 고유전 $HfO_2$ 박막의 화학적, 전기적 특성

  • 문태형 (연세대학교 금속시스템공학과) ;
  • 최지혁 (연세대학교 금속시스템공학과) ;
  • 명재민 (연세대학교 금속시스템공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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