대한설비공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the SAREK Conference)
- 대한설비공학회 2005년도 하계학술발표대회
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- Pages.63-63
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- 2005
반도체 공정에서 수축열시스템 적용사례
Application of Chilled Water Storage System to Semiconductor Production Process
- Kang, Han-Gi (EnE System, Socho) ;
- Jeong, Jin-Woo (EnE System, Socho)
- 발행 : 2005.06.29