한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2005년도 추계학술발표회 및 workshop
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- Pages.178-178
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- 2005
Low-angle forward-reflected 중성빔 식각장치를 이용한 Si 식각에 관한 연구
Study of the low-angle forward-reflected neutral beam etching system for Si etching
- 발행 : 2005.11.04