한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2005년도 추계학술발표회 및 workshop
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- Pages.119-119
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- 2005
유도결합플라즈마가 적용된 반응성 스퍼터법을 이용한 $TiO_2$ 박막의 증착
Deposition of $TiO_2$ films by reactive ICP-sputtering
- 발행 : 2005.11.04