Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

$CrB_2$ coatings deposited by inductively coupled plasma - assisted DC magnetron sputtering

유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 $CrB_2$ 박막의 제조

  • 최효석 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이기락 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 박보환 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 김훈 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이정중 (서울대학교 재료공학과)
  • Published : 2005.11.04
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Abstract

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