Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

CVD system에서의 파이프내 오염입자 관찰을 위한 초음파 및 진동 진단법의 비교연구

  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 이지훈 (건국대학교 신소재공학과) ;
  • 문두경 (건국대학교 신소재공학과) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2005.08.18
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