Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.08a
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- Pages.151-151
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- 2005
광감쇠법을 이용한 플라즈마 내 나노입자 밀도 측정
- Seon, Chang-Rae ;
- Park, Ho-Yong ;
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Choe, Won-Ho
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Park, Seong-Jong
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Sin, Yong-Hyeon
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- Jeong, Gwang-Hwa
- 선창래 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
- 박호용 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
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최원호
(KAIST 물리학과 기체방전물리연구실)
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박성종
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
;
- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
- Published : 2005.08.18
Abstract
Keywords