집속이온빔 장치를 이용한 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정과 이차전자 방출계수와의 관계

• 현정우 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
• 최은하 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 강승언 (광운대학교 전자물리학과)

• Hyeon, Jeong-U ;
• Im, Yeon-Chan ;
• Jeong, Gang-Won ;
• Jeong, Won-Hui ;
• Park, Cheol-U ;
• Choe, Eun-Ha ;
• Seo, Yun-Ho ;
• Gang, Seung-Eon

• 발행 : 2005.08.18

• PDF