Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PECVD로 제작한 실리콘 질화막 및 산화막의 발광 특성

  • 고창훈 (서울시립대학교 물리학과) ;
  • 주지호 (서울시립대학교 물리학과) ;
  • 석중현 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 박경완 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
  • 한문섭 (서울시립대학교 물리학과)
  • Published : 2005.08.18
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Abstract

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