Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

원자층증착법으로 성장시킨 알루미늄 실리케이트 박막의 특성

  • 임정욱 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 플렉시블소자팀) ;
  • 윤선진 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 플렉시블소자팀) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 플렉시블소자팀)
  • Published : 2005.08.18
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