한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Atomic Layer Deposition Of Lanthanum Oxide ($La_{2}O_{3}$) Thin Film on Si(100) Substrate and Electrical Characterization

  • 조상진 (고려대학교 화공생명공학과) ;
  • 박남균 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 강동균 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 하정숙 (고려대학교 화공생명공학과) ;
  • 김병호 (고려대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.02.15
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