Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
- /
- Pages.111-111
- /
- 2005
Preparation of the cerium silicate thin films by solid phase reaction of CeO$_2$ and Si
- Kim, Yeong-Jae ;
- Yang, Taek-Seung ;
-
An, Gi-Seok
;
-
Jeong, Taek-Mo
;
-
Kim, Chang-Gyun
;
-
Kim, Yun-Su
;
-
Lee, Yeong-Guk
- 김영재 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 양택승 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
-
안기석
(한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
-
정택모
(한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
-
김창균
(한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
-
김윤수
(한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
-
이영국
(한국화학연구원 박막재료연구팀)
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords