Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
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- Pages.107-107
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- 2005
열처리 효과에 의한 $ZrO_{2}$ 박막과 Si기판 사이의 계면특성에 관한 연구
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords