Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
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- Pages.101-101
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- 2005
Investigation of GaAs over AlGaAs and InGaP Selective Dry Etching in Planar Inductively Coupled Plasmas With $BCI_{3}$ /$SF_{6}$ based Chemistries
- Yu, Seung-Yeol ;
- Jang, Su-Uk ;
- Ryu, Hyeon-U ;
- Park, Min-Yeong ;
- Choe, Chung-Gi ;
- Im, Wan-Tae ;
- Lee, Je-Won ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Jeon, Min-Hyeon ;
- Song, Han-Jeong
- 유승열 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 장수욱 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 류현우 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 박민영 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 최충기 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 이제원 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 전민현 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 송한정 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소)
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords