한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2005년도 제28회 학술발표회 초록집
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- Pages.67-67
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- 2005
저진공펌프의 동적 측정을 통한 상태진단 인자 분석
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임종연
(한국표준과학연구원 물리표준부)
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정완섭
(한국표준과학연구원 물리표준부)
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- 류제담 (전북대학교 정밀기계공학과) ;
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정원태
(서울대학교 환경소음진동연구센터)
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- 김용욱 ((주)삼성전자) ;
- 문병훈 ((주)삼성전자) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 물리표준부)
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Im, Jong-Yeon
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Jeong, Wan-Seop
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- Ryu, Je-Dam ;
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Jeong, Won-Tae
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- Kim, Yong-Uk ;
- Mun, Byeong-Hun ;
- Jeong, Gwang-Hwa
- 발행 : 2005.02.15