Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
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- Pages.67-67
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- 2005
저진공펌프의 동적 측정을 통한 상태진단 인자 분석
- Im, Jong-Yeon ;
- Jeong, Wan-Seop ;
- Ryu, Je-Dam ;
- Jeong, Won-Tae ;
- Kim, Yong-Uk ;
- Mun, Byeong-Hun ;
- Jeong, Gwang-Hwa
- 임종연 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- 정완섭 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- 류제담 (전북대학교 정밀기계공학과) ;
- 정원태 (서울대학교 환경소음진동연구센터) ;
- 김용욱 ((주)삼성전자) ;
- 문병훈 ((주)삼성전자) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 물리표준부)
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords