Cu 표면에 물리 흡착된 희가스와 수소의 비행시간법에 의한 ESD 이온 측정: 극고진공 기술 관련

  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
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  • Published : 2005.02.15