Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
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- Pages.56-56
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- 2005
Cu 표면에 물리 흡착된 희가스와 수소의 비행시간법에 의한 ESD 이온 측정: 극고진공 기술 관련
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Hong, Seung-Su
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Im, In-Tae
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Sin, Yong-Hyeon
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- Jeong, Gwang-Hwa ;
- Shoaib, M. (PVS, Pakistan) ;
- Arakawa, I. (Gakushuin University)
- Published : 2005.02.15
Abstract
Keywords