대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2005년도 추계종합학술대회
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- Pages.781-784
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- 2005
마이크로 스펙트로미터 적외선 센서용 저응력 $Si_3N_4$ Membrane 상에서의 Thermopile 제조 및 특성
Fabrication and Characterization of Thermopile on Low-Stress $Si_3N_4$ Membrane for Microspectrometer Infrared Sensor
- 최공희 (경희대학교 전자공학과, 전자부품연구원 나노메카트로닉스센터) ;
- 박광범 (전자부품연구원 나노메카트로닉스센터) ;
- 박준식 (전자부품연구원 나노메카트로닉스센터) ;
- 정관수 (경희대학교 전자공학과)
- Choi, Gong-Hee (Dept. of Electronic Engineering, Kyung Hee University, Nanomechatronics Center, Korea Electronics Technology Institute) ;
- Park, Kwang-Bum (Nanomechatronics Center, Korea Electronics Technology Institute) ;
- Park, Joon-Shik (Nanomechatronics Center, Korea Electronics Technology Institute) ;
- Chung, Kwan-Soo (Dept. of Electronic Engineering, Kyung Hee University)
- 발행 : 2005.11.26
초록
Twenty four types of thermopile for micro spectrometer infrared sensors were fabricated on low-stress
키워드