한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)
권호 표지

3 축 나노 스테이지 동특성 해석 및 개선

Analysis and Improvement of Dynamics Characteristic of 3-axis Nano Stage

  • 김충 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 이강녕 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 이동주 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 이문구 (삼성전자 메카트로닉스 센터) ;
  • 최형길 (삼성전자 메카트로닉스 센터) ;
  • 이석원 (삼성전자 메카트로닉스 센터) ;
  • 박노철 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 박영필 (연세대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2005.05.01
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초록

The precision positioning system requires robust design to obtain enough bandwidth. Therefore, The sub-resonance occurred by the disaccord of force center and mass center should be oppressed. And it is necessary to move the flexible mode to a higher frequency. In this paper, the 3-axis nano stage was proposed and dynamic characteristics was improved by design of experiments (DOE).

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