Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2005.07a
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- Pages.493-496
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- 2005
Optical properties of hydrogenated amorphous chalcogenide thin films
수소화 처리된 비정질 칼코게나이드 박막의 광학적 특성
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Nam, Gi-Yeon
(Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University) ;
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Kim, Jun-Hyung
(Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University) ;
- Cho, Sung-Jun (Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University) ;
- Lee, Hyun-Yong (Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University)
- Published : 2005.07.07
Abstract
비정질 실리콘 (a-Si)의 수소화를 통해 활성화 수소가 비정질 실리콘내의 댕글링본드 (dangling bond) 와 결합 하므로 에너지밴드의 국재준위(localized state)를 감소시켜 불순물 도핑이 가능하게 되므로 a-Si 이 전자소자로서 이용 가능하게 되었다. 이에 착안하여 본 연구에서는 경사(