Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Study on the Friction Force Microscopy Analysis of Diamond-like Carbon Films according to the Annealing Temperature

다이아몬드상 카본박막의 열처리 온도에 따른 Friction Force Microscopy 분석에 관한 연구

  • Choi, W.S. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Cho, Y. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Park, Y.S. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Jeon, Y. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Heo, J. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Chung, I. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Hong, B. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 최원석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 조윤혜 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 전영숙 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 허진희 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 정일섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2005.07.07
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Abstract

본 연구에서는 RF 플라즈마 화학기상증착 장비를 사용하여 동일조건에서 합성된 100 nm 두께의 DLC박막을 RTA 장비를 사용하여 $N_2$ 분위기로 여러 가지 온도에서 ($300\sim900^{\circ}C$) 후열처리된 DLC 박막들의 마찰특성 변화를 AFM (Atomic Force Microscopy)의 FFM (Friction Force Microscopy) 모드를 사용하여 관찰하였다.

Keywords