Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference (한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집)
- 2005.10a
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- Pages.281-288
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- 2005
A Basic Research on the Separation of Mixed acid containing Acetic acid, Hydrofluoric acid and Nitric acid.
초산, 불산 및 질산을 함유한 혼산의 분리를 위한 기초 연구
- Lee, Hyang-Sook (Daeil Development R&D Center) ;
- Shin, Chang-Hoon (Daeil Development R&D Center) ;
- Kim, June-Young (Daeil Development R&D Center) ;
- Kim, Ju-Yup (Daeil Development R&D Center) ;
- Lee, Yong-Hee (Dae Jin University) ;
-
Ahn, Jae-Woo
(Daeil Development R&D Center)
- 이향숙 (대일개발 부설기술연구소) ;
- 신창훈 (대일개발 부설기술연구소) ;
- 김준영 (대일개발 부설기술연구소) ;
- 김주엽 (대일개발 부설기술연구소) ;
- 이용희 (대진대학교) ;
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안재우
(대일개발 부설기술연구소)
- Published : 2005.10.14
Abstract
실리콘웨이퍼 제조공정에서 발생되는 초산, 불산 및 질산을 함유한 폐혼산으로 부터 각 산을 분리한 후 재활용하기 위하여 기초 실험을 실시하였다. 용매추출 법을 이용하여 초산, 불산 및 질산을 분리하기 위해 최적 추출제를 선정 하였고, 단일 성분에서의 추출 및 탈거특성에 관해 조사하였다. 또한, 이성분계 혼합산에서 분배비를 조사하여 상호 분리성에 대해 검토하였다. 실험 결과 인산염계 추출제는 고급 알코올에 비해 각 산의 추출 능력이 높다는 것을 확인하였다. 초산과 질산의 이성분 혼합액에서는 고급 알코올을 사용하면 초산이 분배비가 높아 선택적으로 추출되는 것을 확인하였고, 초산과 불산의 이성분 혼합액에서도 인산염계 추출제 보다 고급 알코올 사용시 초산의 분배비가 높아 선택적으로 추출됨을 확인하였다. 한편, 질산과 불산의 혼합액에서는 인산염계 추출제를 사용하여 질산이 선택적으로 추출됨을 확인하였다.
Keywords