Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

The electrical and optical properties of ITO thin films prepared by RF-magnetron sputtering using nano powder target

나노분말 타겟을 이용하여 고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성

  • 유성원 (대구가톨릭대학교 광반도체 정보공학과) ;
  • 홍재석 (대구가톨릭대학교 광반도체 정보공학과) ;
  • 김종재 (대구가톨릭대학교 광반도체 정보공학과) ;
  • 박승환 (대구가톨릭대학교 광반도체 정보공학과) ;
  • 김화민 (대구가톨릭대학교 광반도체 정보공학과) ;
  • 안병철 ((주) AVACO)
  • Published : 2005.07.14
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords