펨토초 레이저를 이용한 극미세 가공 (1) - 금속 극미세 가공 및 탄성 AFM cantilever 제작 -

• Yu, Byeong-Heon (KIMM) ;
• Jo, Seong-Hak (KIMM) ;
• Jang, Won-Seok (KIMM) ;
• Kim, Jae-Gu (KIMM) ;
• Hwang, Gyeong-Hyeon (KIMM) ;
• Lee, Dong-Ju

• 유병헌 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
• 조성학 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
• 장원석 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
• 김재구 (한국기계연구원, 나노공정장비연구센터) ;
• 황경현 (한국기계연구원) ;
• 이동주 (충남대학교)

• Published : 2005.07.14

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