Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)
- Volume 9 Issue 1
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- Pages.1034-1037
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- 2005
Properties of ZnO nanostructures by metal deposited on Si substrates
Metal 증착한 Si 기판 상의 ZnO 나노 구조 특성
- Jang, Hyeon-Gyeong (Major of Semiconductor Physics, KMU) ;
- Jung, Mi-Na (Major of Semiconductor Physics, KMU) ;
- Park, Seung-Hwan (Major of Semiconductor Physics, KMU) ;
- Shin, Dae-Hyeon (Major of Semiconductor Physics, KMU) ;
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Yang, Min
(Major of Semiconductor Physics, KMU) ;
- Yao, Takafumi (Institute for Materials Research, Tohoku University) ;
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Chang, Ji-Ho
(Major of Semiconductor Physics, KMU)
- 장현경 (한국해양대학교 반도체물리전공) ;
- 정미나 (한국해양대학교 반도체물리전공) ;
- 박승환 (한국해양대학교 반도체물리전공) ;
- 신대현 (한국해양대학교 반도체물리전공) ;
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양민
(한국해양대학교 반도체물리전공) ;
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장지호
(한국해양대학교 반도체물리전공)
- Published : 2005.05.27
Abstract
The variation of shapes and related properties of ZnO nanostructures grown on the metal pattern and Si substrate have been investigated. Ni, Cr metal patterns were formed on Si (111) substrates by e-beam evaporation, and ZnO nanostructures were fabricated on it by using thermal evaporation of Zn powder in air. Growth temperature was controlled from 500
Si (111) 기판 상에 전자빔 증착법으로 Ni, Cr 금속 패턴을 형성시킨 후, 그 금속 패턴 위에 대기 중에서 열 증착법으로 Zn powder를 사용하여 ZnO 나노 구조를 형성시켰다. 형성 시 기판의 온도는 500