연 X-선 결상현미경 시스템의 조명광학소자 나노위치 제어에 관한 연구

A Study on Nano-Positioning Control of Condenser Mirror for Soft X-ray Microscopy System

  • 김규겸 (원광대학교 익산방사선 영상과학연구소) ;
  • 민종환 (원광대학교 익산방사선 영상과학연구소) ;
  • 김경우 (원광대학교 익산방사선 영상과학연구소) ;
  • 권영만 (원광대학교 익산방사선 영상과학연구소) ;
  • 윤권하 (원광대학교 익산방사선 영상과학연구소) ;
  • 김재희 (전북대학교 정밀기계공학과) ;
  • 민진영 ((주)리스템)
  • 발행 : 2005.02.17