Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

2 Dimensional Nano-patterning with Immersion Holographic Lithography Technique

액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝

  • 김상원 (연세대학교 기계공학과 나노광자공학 연구실) ;
  • 강신일 (연세대학교 기계공학과 나노광자공학 연구실) ;
  • 한재원 (연세대학교 기계공학과 나노광자공학 연구실)
  • Published : 2005.02.17
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Abstract

Keywords