Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Study on Deposited Film s of SiO$_2$ and Direct Wafer Bonding to Fabricate GaAs/SiO$_2$/Si Wafers

GaAs/SiO$_2$/Si 웨이퍼 제작을 위한 SiO$_2$ 박막 형성과 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구

  • 박종국 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 김선호 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 박진우 (고려대학교 전자컴퓨터공학과) ;
  • 변영태 (한국과학기술연구원 광기술연구센터)
  • Published : 2005.02.17
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Abstract

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