한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

분광 타원법을 이용한 PtO$_X$ 박막의 온도변화에 따른 분해과정과 구조변화에 대한 연구

Decomposition Process and Structure Variation of PtO$_X$ Film Investigated by Spectroscopic Ellipsometry

  • 김상준 ((주)엘림소테크놀러지) ;
  • 이학철 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 김창일 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 오수기 (아주대학교 물리학과) ;
  • 안성혁 (아주대학교 물리학과) ;
  • 김상열 (아주대학원 분자과학기술학과)
  • 발행 : 2005.02.17
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드