In situ 타원법을 이용한 PtO$_X$ 박막의 온도에 따른 광물성 변화

Dependence of Optical Properties of PtO$_X$ Film on Temperature Investigated by in situ Ellipsometry

  • 김연화 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 이학철 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 김창일 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 오수기 (아주대학교 물리학과) ;
  • 안성혁 (아주대학교 물리학과) ;
  • 김상열 (아주대학원 분자과학기술학과)
  • 발행 : 2005.02.17