Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.11a
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- Pages.57-59
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- 2005
The realization of RESURF LDMOSTs with different breakdown voltages in a monolithic power IC
모놀리식 전력용 IC에서 다수의 항복 전압을 가지는 RESURF LDMOST의 구현
- Lee, Se-Kyeong (School of Electronics Engineering, Ajou University) ;
- Choi, Yearn-Ik (School of Electronics Engineering, Ajou University)
- Published : 2005.11.04
Abstract
전력용 IC에서 높은 항복전압의 구현을 위해서 RESURF구조가 많이 사용되고 있다. 하지만 하나의 칩 위에서 다양한 항복전압을 가지는 소자를 구현하기 위해서는 에피층의 농도가 각각 달라져야하는데 이는 공정상의 복잡함과 비용의 문제를 수반하게 된다. 이런 문제점에 따라 본 연구에서는 전력용 IC에서 항복전압이 다른 다수의 LDMOST를 추가 공정없이 에피 영역의 길이를 조절하여 구현할 수 있음을 해석적인 방볍과 2차원 소자 시뮬레이터를 이용하여 확인하였다.
Keywords