대한기계학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KSME Conference)
- 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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- Pages.156.2-156.2
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- 2005
초정밀 Decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어
Design and Control of High-precision Decoupled Dual-stage
- Choi Young-Man (KAIST) ;
- Kim Kihyun (KAIST) ;
- Kim Jungiae (KAIST) ;
- Gweon Dae-Gab (KAIST) ;
- Lee Moon G. ;
- Lee Sukwon ;
- Park Jungwoo ;
- Kim Hyuk
- 발행 : 2005.11.01